SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀

簡要描述：我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀允許定量化學濃度。全在線化學監(jiān)測能夠?qū)崟r校正溶液成分，從而穩(wěn)定控制工藝條件、保持產(chǎn)品的一致性。監(jiān)控工藝過程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量?？赡苡绊懏a(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測時會立即顯現(xiàn)出來，并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。

更新時間：2024-10-31
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SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀

SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀為工程師提供了準確性、可靠性和靈活性的過程監(jiān)控，可以提高效率、保證晶圓制造的一致性，以滿足更高的良率和容錯的要求。在競爭激烈的微電子工業(yè)中，如果不使用復雜的監(jiān)測和控制來確保晶圓制造的一致性，晶圓的制造成本將大大提高。

我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀允許定量化學濃度。全在線化學監(jiān)測能夠?qū)崟r校正溶液成分，從而穩(wěn)定控制工藝條件、保持產(chǎn)品的一致性。

監(jiān)控工藝過程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量?？赡苡绊懏a(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測時會立即顯現(xiàn)出來，并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。

產(chǎn)品選項

• 多個樣本點

• 額外的5 mL數(shù)字滴定管

• 附加傳感器

• 安全聯(lián)鎖裝置

• 試劑低液位檢測

優(yōu)勢

• 增加工具產(chǎn)量

• 降低化學品成本

• 實時過程監(jiān)控

• 降低批量損失

• 降低所有者成本

應用

• 銅化學機械拋光

• 鎢化學機械拋光

• 濕法蝕刻

• 清潔

• DSP+

• 氮化物蝕刻

• PAN蝕刻

• 食人魚蝕刻

• HF

產(chǎn)品特點

• 4個4-20 mA 模擬輸出

• 8個可編程繼電器

• 以太網(wǎng)和 RS232 串口

• 彩色觸摸屏

• 集成試劑儲存

• 單采樣點

• 1個5mL數(shù)顯滴定管

• 多個傳感器輸入

規(guī)格

分析方法	電位法/標準加入法/光度法
精確度¹	±0.2%顯示值
誤差度¹	0.2%相對誤差
測量時間	少于5分鐘/分析(取決于應用)
校準頻率	自開始起²
樣品消耗量	小于 5 mL/次
樣品量	0.05 至 5 mL（取決于應用）
樣品溫度	低于93℃(200℉)
耗水量	少于1000mL/次
樣品入口/返回	小于30 psi
	0.5升/分鐘
	1/4"外徑擴口接頭
	1"FPT 密封聯(lián)軸器
去離子水	20-40 psi
	2升/分鐘
	1/4"外徑擴口接頭
CDA	60-80 psi
CDA	1/4"外徑快速接頭
過程排放	3/4"NPT 重力排放
機箱排水	1/2"NPT 重力排放
電源	110 /220 VAC，50 /60 Hz，1 /0.5A 現(xiàn)場可切換
排水	1 7 /8" OD @ 17 CFM
外形尺寸	39.00"H x 27.00"W x 16.00"D

¹僅指“硬件"。應用、化學和工藝條件等外部因素會影響系統(tǒng)準確度和精密度。

²這不包括 pH 傳感器的校準。有關(guān)詳細信息，請參閱安裝和操作手冊。Entegris 相信此處包含的數(shù)據(jù)是真實的，所表達的意見是合格專家對所進行測試的結(jié)果的看法，這些數(shù)據(jù)不應被視為 Entegris 承擔法律責任的保證或陳述。提供的數(shù)據(jù)僅供考慮、調(diào)查和驗證。對這些數(shù)據(jù)和信息的任何使用都必須由用戶決定，以符合聯(lián)邦、州和當?shù)氐姆煞ㄒ?guī)。所有規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

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